Taupunktüberwachung von Thermoprozessöfen

Zur optimalen Prozessführung in Thermoprozessöfen wird eine Taupunktüberwachung benötigt. Aufgrund der hohen Temperaturen > 600°C kommen in der Regel Probenahmesysteme zum Einsatz. Das Probenahmesystem besteht aus eine Pumpe die Ofenatmosphäre (meist 100% N2 oder eine Mischung aus H2 und N2) absaugt. Zur Kühlung der Messluft auf sensorverträgliche Temperaturen wird die Probe über eine Abkühlstrecke aus Edelstahl auf ca. 50°C runtergekühlt und dem Sensor über die Bypass-Messkammer zugeführt. Typische Taupunkte sind < -40°Ctd.